Two-Level 3D Column-like Nanofilms with Hexagonally-Packed Tantalum Fabricated via Anodizing of Al/Nb and Al/Ta Layers-A Potential Nano-Optical Biosensor.

本文报道了一种通过阳极氧化Al/Nb和Al/Ta金属层制备的两级三维柱状纳米膜。首先在草酸水溶液中阳极氧化Al/Nb，形成第一级多孔阳极氧化铝（PAA）及氧化铌柱；再在酒石酸水溶液中阳极氧化Al/Ta形成第二级PAA，并在硼酸缓冲液中再阳极氧化生成氧化钽柱；随后用50%磷酸长时间刻蚀去除PAA。沉积在部分溶解的第一级PAA上、且露出...