Gold Nanohole Array with Sub-1 nm Roughness by Annealing for Sensitivity Enhancement of Extraordinary Optical Transmission Biosensor.

Nanoscale research letters 2015 Zhang J, Irannejad M, Yavuz M, Cui B

纳米制造技术对表面等离子体器件性能至关重要。本文针对异常光学传输（EOT）传感器，开发双剥离工艺，在二氧化硅基底上100 nm金膜中制备孔径150–235 nm、周期500 nm的纳米孔阵列。通过600 °C氩气气氛热退火，金膜均方根粗糙度由1.89 nm降至0.87 nm，实现亚1 nm表面粗糙度，同时孔径收缩约11%–13%。以...

表面等离子共振(SPR)生物传感器 异常光学传输纳米孔阵列表面等离子体激元热退火

Hybrid plasmon photonic crystal resonance grating for integrated spectrometer biosensor.

Optics letters 2015 Guo H, Guo J

本文报道了一种基于纳米加工混合金属–介质纳米孔阵列光子晶体光栅的混合等离子体光学共振光谱生物传感器。该传感器在玻璃基底上制备氮化硅超周期纳米孔光栅，并在其表面溅射不同厚度的金膜，使器件同时具有介质导模共振与表面等离子体共振特性。与传统通过零级透射测量光学共振不同，新传感方法利用低成本CCD成像器采集一阶衍射光，并通过氦氖激光校准波长...

其他 混合等离子体光子晶体光栅纳米孔阵列一阶衍射