A Sub-30 mpH Resolution Thin Film Transistor-Based Nanoribbon Biosensing Platform.
本文报道了一种完整的生物传感系统,由薄膜晶体管(TFT)纳米带生物传感器和低噪声、高性能生物仪器平台组成,能够检测低于30 mpH的pH变化,并通过酶促生化反应验证。纳米带传感器采用自上而下工艺制备,具有15 nm超薄磷掺杂多晶硅半导体沟道,对表面电位变化具有优异灵敏度。传感器与集成电路耦合,该集成电路结合双开关电容积分器和高精度模...