Design and performance analysis of a vertically stacked gate-all-around nanosheet FET with embedded nanocavity for biosensing applications.

本文通过 TCAD 仿真设计并分析了一种垂直堆叠全栅介电调制纳米片场效应晶体管（DM-NSFET）生物传感器，用于无标记检测 SW620、HEK293 等癌症生物分子以及 DNA、明胶等生物分子。该器件在栅极电极下方的 HfO2 介质两侧嵌入纳米空腔，使生物分子进入空腔并调制器件电学特性；全栅结构增强栅控能力并提高灵敏度。研究从亚阈...