Ultrasensitive Magnetic Nanoparticle Detector for Biosensor Applications.

作者采用超高真空磁控溅射沉积Ta/Ru/Co/Ru/Co/Cu/Co/Ni80Fe20/Ta自旋阀巨磁阻（GMR）多层膜，并通过优化获得图案化前13%的GMR比。随后结合电子束光刻与光学光刻将GMR多层膜图案化为12个传感器阵列，其中包含400 nm×400 nm和400 nm×200 nm两种尺寸，用于检测报告用磁性纳米颗粒。检测...