Towards CMOS Integrated Microfluidics Using Dielectrophoretic Immobilization.

Biosensors 2019 Matbaechi Ettehad H, Yadav RK, Guha S, Wenger C

介电电泳（DEP）是一种非破坏、非侵入技术，适用于即时医疗诊断。该技术可在微型平台上对细胞或分子等生物颗粒进行固定、分离、旋转和检测。利用互补金属氧化物半导体（CMOS）等先进平面工艺，可通过叉指电容生物传感器实现DEP。本文采用有限元仿真研究了叉指电极（IDE）阵列对微米和亚微米颗粒的介电电泳固定。CMOS兼容IDE被置于硅微流控...

微流控生物传感器 介电电泳CMOS生物传感器叉指电极电容传感

Pixel-based biosensor for enhanced control: silicon nanowires monolithically integrated with field-effect transistors in fully depleted silicon on insulator technology.

Nanotechnology 2019 Jayakumar G, Östling M

硅纳米线（SiNW）与互补金属氧化物半导体（CMOS）集成可推进芯片实验室（LOC）技术，实现读出电路集成、选择性检测和多路检测。本文提出一种可扩展像素型生物传感器，利用全耗尽绝缘体上硅（FDSOI）技术将 SiNW 与 CMOS 单片集成，并采用 CMOS 兼容侧壁转移光刻（STL）进行晶圆级制造。每个 60 nm 宽 SiNW ...

场效应晶体管(FET)生物传感器 硅纳米线生物传感器CMOS 集成芯片实验室像素化传感