CMOS-EMBEDDED MICROFLUIDICS FOR CHANNEL-ADDRESSABLE PARALLEL READOUT OF SPAD FLUORESCENCE LIFETIME SENSORS.
本文报道了一种将CMOS嵌入式减材微流控与单光子雪崩二极管（SPAD）荧光寿命传感器集成的芯片级生物传感平台。微流道通过在标准TSMC 180 nm CMOS工艺的后端金属（BEOL）布线层中选择性湿法刻蚀形成，使分析物与SPAD活性区距离缩短至约7 μm，同时保持精确对准。该平台实现了两个独立流体通道下两个SPAD的并行读出，每个...