Optical Thickness Monitoring as a Strategic Element for the Development of SPR Sensing Applications.
厚度与沉积速率的监测对SPR等薄膜传感器的制备至关重要，因为SPR响应的灵敏度与线性范围均随传感膜厚度变化。本研究以BK7玻璃片为基底，采用电子枪与热蒸发相结合的真空蒸发方法，在旋转与非旋转两种沉积系统中制备Cr/Au薄膜，并通过自研SPR平台对其等离子体响应进行实验表征。研究利用Fresnel方程与矩阵法建立多层膜理论模型，将实验...