Gold Nanohole Array with Sub-1 nm Roughness by Annealing for Sensitivity Enhancement of Extraordinary Optical Transmission Biosensor.

Nanoscale research letters 2015 Zhang J, Irannejad M, Yavuz M, Cui B

纳米制造技术对表面等离子体器件性能至关重要。本文针对异常光学传输（EOT）传感器，开发双剥离工艺，在二氧化硅基底上100 nm金膜中制备孔径150–235 nm、周期500 nm的纳米孔阵列。通过600 °C氩气气氛热退火，金膜均方根粗糙度由1.89 nm降至0.87 nm，实现亚1 nm表面粗糙度，同时孔径收缩约11%–13%。以...

表面等离子共振(SPR)生物传感器 异常光学传输纳米孔阵列表面等离子体激元热退火

All-nanophotonic NEMS biosensor on a chip.

Scientific reports 2015 Fedyanin DY, Stebunov YV

集成化化学与生物传感器在降低成本、减小体积和重量方面具有优势，并为并行监测与分析提供新途径。基于纳米机电系统（NEMS）的生物传感器因紧凑、高灵敏和可单分子检测而成为集成平台的重要候选，但静电、磁动、热或压电等驱动与换能方式通常限制其只能在实验室条件使用。全光学方案可克服上述问题，但现有结构往往宏观或过于复杂昂贵。本文提出一种极紧凑...

其他 NEMS生物传感器纳米光子波导纳米梁悬臂梁表面等离子体激元