Study on the Physical Properties of a SiNW Biosensor to the Sensitivity of DNA Detection.
本研究采用原子力显微镜局部阳极氧化(AFM-LAO)结合湿法化学刻蚀制备了由5根和10根硅纳米线(SiNW)组成的阵列,并使用不同浓度的四甲基氢氧化铵(TMAH)和异丙醇(IPA)进行刻蚀,使所得 SiNW 在尺寸和表面粗糙度上存在差异。随后,通过 3-氨基丙基三乙氧基硅烷(APTES)和戊二醛对 SiNW 表面进行功能化,固定 2...