Detection of biomolecules in dielectric modulated double metal below ferroelectric layer FET with improved sensitivity.

本文研究了双金属位于铁电层下方的场效应晶体管（DM-below-NCFET）用于生物分子检测。器件在源-栅与漏-栅之间设置纳米腔隙，将蛋白、胆固醇氧化酶（ChOx）、链霉亲和素和尿酸酶等中性生物分子固定于腔隙中，通过生物分子介电常数改变界面电学特性。利用 Visual TCAD 模拟了阈值电压、跨导、漏极电流、开关比和灵敏度等参数。...