A mid-infrared focusing grating coupler with a single circular arc element based on germanium on silicon.

本文设计并演示了一种基于锗硅（Ge-on-Si）平台、在光栅前端引入单个圆弧元件（CAE）的中红外（MIR）聚焦光栅耦合器（FGC）。该结构可等效于传统全聚焦光栅耦合器，通过优化 CAE 的结构参数，锥形线性光栅与 CAE 组合可将耦合效率提升至 8.61%，约为传统中红外光栅耦合器的两倍，也是目前基于 Ge-on-Si 的全蚀刻光...