A third-order mode high frequency biosensor with atomic resolution.

本文提出一种具有原子分辨率的超高灵敏度表面声波（SAW）生物传感器，用于DNA序列和细胞检测。在LiNbO3基底上制备叉指换能器（IDT），经优化设计与工艺，在6.4 GHz三阶谐波模式下实现超过4000的品质因数（Q）。该传感器对目标DNA在1 μg/mL至1 ng/mL范围内呈良好线性响应，灵敏度达6.7×10^-16 g/cm...