Lead-Free Piezoelectric Diaphragm Biosensors Based on Micro-Machining Technology and Chemical Solution Deposition.
本文提出一种基于微加工技术与化学溶液沉积制备硅基压电膜片生物传感器的新方法。器件采用钠钾铌酸盐-银铌酸盐（0.82KNN-0.18AN）无铅复合薄膜作为压电层，通过逆压电效应驱动硅膜片谐振，并以谐振频率偏移响应膜片表面附着质量的变化。所制备器件对多种靶标附着引起的质量变化具有良好响应，测得质量灵敏度约为931 Hz/µg。作者进一步...