Highly sensitive silicon nanowire biosensor with novel liquid gate control for detection of specific single-stranded DNA molecules.

本研究报道了一种基于液体栅极控制的硅纳米线生物传感器，用于检测特定单链DNA（ssDNA）分子。器件采用常规光刻结合电感耦合等离子体干法刻蚀工艺制备。在引入DNA前，通过pH 2至14的系列稀释验证了器件对pH的线性响应。随后对传感器表面进行硅烷化，并使用(3-氨基丙基)三乙氧基硅烷（APTES）直接氨基化，构建用于生物功能化的分子...