Integrated Love Wave Device Dedicated to Biomolecular Interactions Measurements in Aqueous Media.
质量敏感型电声器件（如表面声波微天平）能够在水相介质中工作，是发展生物传感器的有利平台。其尺寸和物理特性使其在生物流体研究中具有较大潜力，尤其适用于质量沉积、吸附和压力等物理过程的测量。本文提出一种特定的栅格结构，以降低液体粘度对表面波换能器信号动态范围的影响；同时开发专用液池，将器件的电活性部分与待测液体隔离。液池采用SU-8光刻...