Materials (Basel, Switzerland)
2018
Tran DP, Pham TTT, Wolfrum B, Offenhäusser A 等 5 人
硅纳米线（SiNW）因二维限域效应具有优异的光学、磁学和电子特性，其场效应已被用于发展高灵敏度生物传感方法。本文系统综述了与互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺兼容的 SiNW 场效应晶体管（FET）生物传感器从设计、微纳制造、封装、功能化到读出的关键技术，并讨论其商业化路径。文章比较了自上而下制备 SiNW 的垂直与水平工艺，包括...
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
2018
Stebunov YV, Yakubovsky DI, Fedyanin DY, Arsenin AV 等 5 人
等离子体生物传感已被证明是定量测定分子分析物和分析生化反应动力学的有力技术。然而，大多数等离子体生物传感器界面由金、银等贵金属制成，与工业生产不兼容，限制了其在生物化学和药物研究以外的应用。本文提出并研究了一种完全采用标准互补金属-氧化物-半导体（CMOS）工艺制造的铜基生物传感器芯片。通过在铜膜表面沉积二氧化硅（SiO2）和氧化铝...
Biosensors & bioelectronics
2018
Shariati M
本文报道了一种基于氧化铟锡（ITO）纳米线的场效应晶体管（FET）DNA生物传感器，用于无标记检测乙型肝炎病毒（HBV）DNA，并兼容CMOS工艺。作者以p型Si衬底为背栅，在其上依次制备SiO2绝缘层、Au源漏电极和ITO纳米线沟道；通过电子束光刻和800 ℃退火获得直径小于50 nm的结晶ITO纳米线。巯基化单链HBV DNA探...