Carbonized Polymer for Joule Heating Processing Towards Biosensor Development.
本文报道了面向CMOS兼容生物传感器开发的碳化聚合物微电极制备实验进展。作者采用双光子聚合（2PP）在石英晶圆上3D打印桥-柱（bridge-on-pillars）聚合物微结构，并在不同退火条件下提高前驱体中的碳含量，以获得足够电导率，从而可通过通电流实现局部焦耳加热。研究针对完全碳化通常需要高于700°C、超出CMOS兼容温度窗口...
本文报道了面向CMOS兼容生物传感器开发的碳化聚合物微电极制备实验进展。作者采用双光子聚合（2PP）在石英晶圆上3D打印桥-柱（bridge-on-pillars）聚合物微结构，并在不同退火条件下提高前驱体中的碳含量，以获得足够电导率，从而可通过通电流实现局部焦耳加热。研究针对完全碳化通常需要高于700°C、超出CMOS兼容温度窗口...