A 16 × 16 CMOS Capacitive Biosensor Array Towards Detection of Single Bacterial Cell.

本文报道了一种16×16 CMOS电容生物传感器阵列，用于全细胞细菌的阻抗/介电检测。每个像素由钝化叉指微电极和片上读出电路组成，读出接口基于电荷共享原理实现电容到电压的线性转换，并引入亚阈值增益级以提高对细菌结合的灵敏度。该阵列采用CMOS混合信号工艺制造，实验表明其可在电解质电导率高达0.05 S/m的条件下准确测量介电特性，最...