Single-Die-Level MEMS Post-Processing for Prototyping CMOS-Based Neural Probes Combined with Optical Fibers for Optogenetic Neuromodulation.

互补金属氧化物半导体（CMOS）与微机电系统（MEMS）技术的集成，使微型生物传感器能够以空前的时空分辨率监测神经系统生物电活动。晶圆级 CMOS 工艺成本较高，多项目晶圆（MPW）可让多个用户共享晶圆以降低原型成本，但单片 CMOS 生物传感器常需标准 CMOS 工艺不兼容的表面材料或器件几何结构，在 MPW 芯片仅有的数平方毫米...