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Wafer-Scale Graphene Field-Effect Transistor Biosensor Arrays with Monolithic CMOS Readout.

ACS applied electronic materials 2023 Soikkeli M, Murros A, Rantala A, Txoperena O 等 14 人

随着即时诊断从单分析物检测向多分析物检测发展,分析可靠性日益重要。互补金属氧化物半导体(CMOS)集成传感方案可提供微型化多路传感阵列、集成读出电子和超大传感器数量。近年来,兼容 CMOS 后端工艺的石墨烯场效应晶体管(GFET)生物传感在制造规模化和面向真实样品基质的生物识别功能化方面快速发展。工业化下一步需要提高可靠性并增加统计...

Refractive Index Measurement Using SOI Photodiode with SP Antenna toward SOI CMOS-Compatible Integrated Optical Biosensor.

Sensors (Basel, Switzerland) 2023 Satoh H, Isogai K, Iwata S, Aso T 等 7 人

本文提出一种由绝缘体上硅(SOI)p-n结光电二极管(PD)与表面等离子体(SP)天线构成的新型光学生物传感器。当SP天线衍射光的两个横向波长与SOI PD中的波导模式满足相位匹配条件时,光谱光敏度出现尖锐峰。由于峰波长取决于SP天线周围折射率变化,该器件可用于光学生物传感。在体溶液测量中,折射率检测限为1.11×10−5 RIU,...