CMOS-integrated film bulk acoustic resonators for label-free biosensing.
无标记生物传感器的通量是重要参数。石英晶体微天平（QCM）等声学谐振器因可同时使用的传感器数量有限而通量较低。本文报道了一种由64个薄膜体声波谐振器（FBAR）组成的CMOS集成阵列，用于无标记生物传感。每个FBAR像素下方集成专用阻抗式读出电路，包括电压控制振荡器（VCO）、数字计数器和接口控制模块，通过扫描VCO控制值获取谐振频...
无标记生物传感器的通量是重要参数。石英晶体微天平（QCM）等声学谐振器因可同时使用的传感器数量有限而通量较低。本文报道了一种由64个薄膜体声波谐振器（FBAR）组成的CMOS集成阵列，用于无标记生物传感。每个FBAR像素下方集成专用阻抗式读出电路，包括电压控制振荡器（VCO）、数字计数器和接口控制模块，通过扫描VCO控制值获取谐振频...