Acoustic Streaming Efficiency in a Microfluidic Biosensor with an Integrated CMUT.

本文研究了微通道高度对声流速度和电容式微加工超声换能器（CMUT）单元阻尼的影响。实验采用高度0.15–1.75 mm的微通道，计算模型覆盖10–1800 μm。模拟与测量结果均显示，声流效率存在与5 MHz体声波波长相关的局部极小和极大。局部极小出现在微通道高度为半波长150 μm整数倍处，由激发波与反射波相消干涉引起；因此非15...