Monolithic Wafer Scale Integration of Silicon Nanoribbon Sensors with CMOS for Lab-on-Chip Application.

硅纳米带（SiRi）因具有高表面体积比，已被广泛用作高灵敏度生物传感换能器，但生物标志物的选择性多路检测仍是难题，且将 SiRi 与互补金属氧化物半导体（CMOS）电路集成为完整芯片实验室（LOC）的报道很少。本文提出一种基于像素的 SiRi 器件，并与 CMOS 场效应晶体管（FET）单片集成，用于实时选择性多路检测。SiRi 像...