The field effect transistor DNA biosensor based on ITO nanowires in label-free hepatitis B virus detecting compatible with CMOS technology.

本文报道了一种基于氧化铟锡（ITO）纳米线的场效应晶体管（FET）DNA生物传感器，用于无标记检测乙型肝炎病毒（HBV）DNA，并兼容CMOS工艺。作者以p型Si衬底为背栅，在其上依次制备SiO2绝缘层、Au源漏电极和ITO纳米线沟道；通过电子束光刻和800 ℃退火获得直径小于50 nm的结晶ITO纳米线。巯基化单链HBV DNA探...