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Sensitivity Analysis of Biosensors Based on a Dielectric-Modulated L-Shaped Gate Field-Effect Transistor.

Micromachines 2020 Chong C, Liu H, Wang S, Chen S 等 5 人

无标记生物分子传感器因操作简便而被广泛研究。L形隧穿场效应晶体管(LTFET)具有低亚阈值摆幅、低关态电流和低功耗,适合用于生物传感器。在介电调制LTFET(DM-LTFET)中,沿竖直方向在栅电极下方刻蚀腔体并填充生物分子,从而实现传感功能。本文利用二维TCAD仿真器研究DM-LTFET传感器的灵敏度,分析不同生物分子介电常数、腔...