MEMSbased Double-Stacked Tower Biosensor Array with Integrated Readout Circuitry for Detection of Salivary pH as a Diagnostic Biomarker Applied for Chronic Periodontal Disease.

本文报道了一种基于MEMS的三维双堆叠塔像素生物传感器10×10阵列，并集成读出电路，用于检测唾液pH离子。每个像素由驱动电极、传感电极和双堆叠塔像素结构组成。通过低抖动低压差线性稳压器和双失调抵消比较器辅助增强灵敏度。该传感器采用MEMS后端CMOS工艺制造，与CMOS前端读出电路兼容，并集成为片上系统。双堆叠塔结构可提高单个像素...