Optimized Technologies for Cointegration of MOS Transistor and Glucose Oxidase Enzyme on a Si-Wafer.

本文报道了一种酶场效应晶体管（ENFET）葡萄糖生物传感器的优化制备技术。该器件将传统 MOS-FET 与葡萄糖氧化酶（GOx）识别膜共集成于硅晶圆上，以场效应晶体管作为换能器、酶作为生物识别元件。在 MOS 栅氧化层上先沉积 Ti 膜，经阳极氧化转化为纳米结构 TiO2，再固定 GOx；实验比较了戊二醛（GA）和 GA+Nafio...