Reliable and highly sensitive biosensor from suspended MoS
传统基于支撑衬底的二维生物传感器因表面形貌不均和电荷陷获产生散射,导致器件信号不稳定。悬空二维通道材料可克服衬底散射,但可靠性和选择性受限。本文采用自组装光刻技术制备纳米间隙电极,使化学气相沉积单层 MoS2 悬空于 70–90 nm 间隙上;该结构在沉积氧化铪(HfO2)、偶联剂和抗体后仍保持自由悬空,为原子层提供机械支撑。通过电...
传统基于支撑衬底的二维生物传感器因表面形貌不均和电荷陷获产生散射,导致器件信号不稳定。悬空二维通道材料可克服衬底散射,但可靠性和选择性受限。本文采用自组装光刻技术制备纳米间隙电极,使化学气相沉积单层 MoS2 悬空于 70–90 nm 间隙上;该结构在沉积氧化铪(HfO2)、偶联剂和抗体后仍保持自由悬空,为原子层提供机械支撑。通过电...