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Meander Thin-Film Biosensor Fabrication to Investigate the Influence of Structural Parameters on the Magneto-Impedance Effect.

Sensors (Basel, Switzerland) 2021 Sayad A, Uddin SM, Chan J, Skafidas E 等 5 人

薄膜磁阻抗(MI)生物传感器因灵敏度高且易于微型化而受到关注,但检测弱生物磁信号仍需进一步提升。本文报道了一种 meander 形薄膜 MI 生物传感器的制备,并研究影响 MI 效应的结构参数。作者假设通过优化薄膜厚度与传感面积尺寸比可获得最大 MI 比。基于 NiFe/Cu/NiFe 三明治结构设计了 3 匝、6 匝和 9 匝 m...