All-Silicon Photoelectric Biosensor on Chip Based on Silicon Nitride Waveguide with Low Loss.

与广泛使用的化合物半导体光电传感器相比，全硅光电传感器因兼容互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺而具有易于量产的优势。本文提出一种工艺简单、集成化、微型化且低损耗的全硅光电生物传感器（ASPB）。该传感器基于单片集成技术，光源为PN结级联多晶硅纳米结构，检测器件采用简单的折射率传感方法。模拟结果表明，当待测材料折射率大于1.52时，...