Resonant efficiency improvement design of piezoelectric biosensor for bacteria gravimetric sensing.

压电生物传感器已广泛用于生物分子的超小质量检测。基于锆钛酸铅（PZT）压电材料可通过不同几何构型形成多种组成，有利于开发高频谐振器，并在提高检测限的同时测量极微小质量变化。本研究采用旋涂法和背面蚀刻工艺制备压电生物传感器，以改善其压电特性。结果表明，250 µm×250 µm 工作尺寸具有最优异的压电特性，电容可调性约为38.56%...