Nanogap biosensors for electrical and label-free detection of biomolecular interactions.

本文报道了一种用于电学无标记检测生物分子相互作用的纳米间隙生物传感器。作者利用硅各向异性湿法刻蚀在绝缘体上硅（SOI）晶圆的器件层上制备纳米级间隙结构，通过控制初始窗口尺寸和沉积材料厚度，获得小于60 nm且可单独寻址的纳米间隙器件。器件由SOI硅基底、埋氧层、硅纳米间隙、Al2O3绝缘/钝化层和Cr/Au电极组成。金表面经氧等离子...