Micro-Raman Spectroscopy for Monitoring of Deposition Quality of High-k Stack Protective Layer onto Nanowire FET Chips for Highly Sensitive miRNA Detection.

本文展示了微拉曼光谱用于监测高k（h-k）介质保护层在纳米线（NW）芯片表面沉积质量的方法。研究采用基于绝缘体上硅（SOI）结构、并以高k介质保护的NW芯片，用于高灵敏检测与肿瘤疾病相关的微小RNA（miRNA）。保护介质由沉积在硅SOI-NW芯片上的2 nm厚Al2O3表面层和8 nm厚HfO2层组成。与仅具有原生氧化物的未保护S...