Wafer-scale nanowell array patterning based electrochemical impedimetric immunosensor.

我们此前报道纳米孔阵列（NWA）可通过控制捕获分子的结合位点增强分子结合事件的电化学检测；基于NWA生物传感器的安培分析可低浓度检测DNA、蛋白或适配体等生物大分子。本研究开发了一种基于晶圆级NWA的阻抗免疫传感器，用于电化学检测应激诱导磷酸化蛋白1（STIP-1）。为实现低成本、高通量纳米图案化，采用氪氟（KrF）步进半导体工艺在...