On-Glass Integrated SU-8 Waveguide and Amorphous Silicon Photosensor for On-Chip Detection of Biomolecules: Feasibility Study on Hemoglobin Sensing.

本文提出一种用于片上生物分子检测的玻璃基集成光电系统。其工作原理是：单色光在SU-8聚合物光学波导中传播，并与待测生物溶液发生相互作用；该相互作用由氢化非晶硅（a-Si:H）光电二极管检测，光强变化被转换为光电流。作者对波导与薄膜光电二极管耦合结构进行了光学仿真，并制备、表征了原型器件。结果显示波导传输损耗约0.6 dB/cm，光电...