Numerical simulation of ISFET structures for biosensing devices with TCAD tools.

离子敏感场效应晶体管（ISFET）是构建生物场效应晶体管（BioFET）生物传感器的基本结构。为优化 BioFET 设计与制备工艺，需要建立工艺参数与器件电学响应的关联，器件级模拟可提供有效手段。本文提出利用 Synopsys Sentaurus TCAD 工具对用于生物传感的 ISFET 结构进行数值模拟。由于标准 TCAD 材料...