Rigiflex lithography-based nanodot arrays for localized surface plasmon resonance biosensors.

本文提出一种简便且稳健的方法，通过刚性-柔性光刻（rigiflex lithography）制备聚合物模板，并结合后续电沉积金属化，构建用于局域表面等离子共振（LSPR）生物传感器的金属纳米点阵列。刚性-柔性光刻可在接触压印过程中实现大面积纳米结构制备，并保留工艺柔性；电沉积则实现湿法纳米金属化，具有较高图形保真度和几何可控性。所得...