Selective patterning of Si-based biosensor surfaces using isotropic silicon etchants.

超灵敏无标记生物传感器有望在医学诊断等领域产生重大影响。对于大多数硅基集成器件，必须用靶向配体对表面进行功能化，才能实现特异性生物检测。通常采用硅烷偶联剂固定靶向配体，但该方法往往导致整个器件表面发生生物偶联，并不理想。为克服这一问题，研究者发展了多种复杂封闭策略，以实现传感器表面的选择性图案化。近期，硅烷偶联剂被用于将生物分子连接...