Flexure-FET biosensor to break the fundamental sensitivity limits of nanobiosensors using nonlinear electromechanical coupling.

本文提出一种 Flexure-FET（柔性敏感场效应晶体管）超灵敏生物传感器，利用非线性机电耦合突破经典电学或机械纳米生物传感器的基本灵敏度极限。该器件由纳米板通道和薄膜悬空栅构成；目标生物分子被捕获后，悬空栅的刚度发生变化，栅的形状或偏转随之改变，并反映在场效应晶体管的漏极电流中。器件被设计为将栅偏置在接近 pull-in 不稳定...