Numerical Study of Fabrication-Related Effects of the Structural-Profile on the Performance of a Dielectric Photonic Crystal-Based Fluid Sensor.

本文报道了一种基于介电光子晶体的近红外流体折射率传感器的制备与数值研究。该器件由低成本、化学惰性的二氧化硅（SiO2）和五氧化二铌（Nb2O5）薄膜构成，采用离子束溅射沉积形成对称波导结构，并通过聚焦离子束（FIB）铣削光刻制备周期性空气孔光子晶体。文章首先讨论了FIB工艺参数对孔深、侧壁角度和结构轮廓的影响，随后在生物流体折射率范...