本文报道了一种基于介电光子晶体的近红外流体折射率传感器的制备与数值研究。该器件由低成本、化学惰性的二氧化硅（SiO2）和五氧化二铌（Nb2O5）薄膜构成，采用离子束溅射沉积形成对称波导结构，并通过聚焦离子束（FIB）铣削光刻制备周期性空气孔光子晶体。文章首先讨论了FIB工艺参数对孔深、侧壁角度和结构轮廓的影响，随后在生物流体折射率范...
本文提出一种由硅（Si）微孔与石墨烯纳米孔技术组合构成的生物传感器结构，有望用于检测DNA等单分子生物聚合物。作者报道了一种利用聚焦离子束（FIB）直接制备Si3N4/Si锥形微孔和石墨烯纳米孔的新方法，其中锥形微孔作为流体通道，石墨烯纳米孔作为传感膜。首先将厚硅衬底减薄至约50 µm，再通过多步铣削获得最终孔径约3 µm的锥形微孔...
本文报道了一种嵌入三电极构型的微流控生物传感器芯片，用于研究纳米电极阵列在纳升级样品体积中的伏安响应。芯片三电极单元由半径 60–120 nm 的 5×5 金工作纳米电极阵列、经 Cl2 等离子体处理的 Ag/AgCl 参比电极和金对电极组成。纳米电极阵列通过 I2 气体辅助聚焦离子束铣削、离子束雕刻和电沉积金制备，形成高深宽比孔道...
本文报道了棒状玻璃颗粒的无电银镀覆工艺，并制备了银–玻璃复合粉末，以赋予原本不导电的玻璃颗粒导电性。随着电子与通信产品增多，电磁干扰（EMI）屏蔽需求增加，金属银具有优良导电性但成本高，玻璃具有轻质、耐腐蚀和可设计性，因此银包覆玻璃颗粒有望作为导电无机填料用于EMI屏蔽材料；同时，可控厚度的银层也可用于表面等离子共振（SPR）等生物...