Fabrication of Si Micropore and Graphene Nanohole Structures by Focused Ion Beam.

本文提出一种由硅（Si）微孔与石墨烯纳米孔技术组合构成的生物传感器结构，有望用于检测DNA等单分子生物聚合物。作者报道了一种利用聚焦离子束（FIB）直接制备Si3N4/Si锥形微孔和石墨烯纳米孔的新方法，其中锥形微孔作为流体通道，石墨烯纳米孔作为传感膜。首先将厚硅衬底减薄至约50 µm，再通过多步铣削获得最终孔径约3 µm的锥形微孔...