Fabrication of High-Performance Ultrathin In2O3 Film Field-Effect Transistors and Biosensors Using Chemical Lift-Off Lithography.

本文报道了一种基于场效应晶体管（FET）的高灵敏生物传感器阵列的简便制备方法。作者采用化学剥离光刻（CLL）实现高吞吐、大面积、高空间精度的图形化，可制备微米和纳米尺度器件。通过水相溶胶-凝胶工艺旋涂沉积约4 nm厚的In2O3薄膜，并经低温热退火形成均匀半导体沟道。该超薄In2O3沟道对表面结合事件高度敏感，在沟道表面固定特异性适...