Fabrication of High-Performance Ultrathin In2O3 Film Field-Effect Transistors and Biosensors Using Chemical Lift-Off Lithography.

ACS nano 2015 Kim J, Rim YS, Chen H, Cao HH 等 10 人

本文报道了一种基于场效应晶体管（FET）的高灵敏生物传感器阵列的简便制备方法。作者采用化学剥离光刻（CLL）实现高吞吐、大面积、高空间精度的图形化，可制备微米和纳米尺度器件。通过水相溶胶-凝胶工艺旋涂沉积约4 nm厚的In2O3薄膜，并经低温热退火形成均匀半导体沟道。该超薄In2O3沟道对表面结合事件高度敏感，在沟道表面固定特异性适...

场效应晶体管(FET)生物传感器 场效应晶体管生物传感器氧化铟化学剥离光刻适配体

A conductometric indium oxide semiconducting nanoparticle enzymatic biosensor array.

Sensors (Basel, Switzerland) 2011 Lee D, Ondrake J, Cui T

本文报道了一种导电纳米颗粒生物传感器阵列，用于解决纳米材料生物传感器因纳米颗粒薄膜随机网络特性导致的电学性质显著波动问题。氧化铟纳米颗粒（INP）和二氧化硅纳米颗粒（SNP）通过层层自组装（LbL）选择性组装在电阻的多通道区域。为展示酶传感能力，将葡萄糖氧化酶（GOx）固定在SNP层上用于葡萄糖检测。传感器芯片封装到陶瓷针栅阵列（P...

其他 生物传感器阵列导电纳米颗粒氧化铟葡萄糖氧化酶