A review of monolithic multichannel quartz crystal microbalance: a review.
单片多通道石英晶体微天平（MQCM）是面向先进传感与测量应用的新兴技术。本文系统综述 MQCM 技术。首先介绍基本 MQCM 的设计、仿真与表征，重点讨论通道间声学干扰问题。随后总结基于石英基底结构改性的多种 MQCM 方案，包括 mesa、凸面和 x 轴反转结构，用于降低干扰并提高灵敏度。接着讨论三类重要 MQCM 传感平台及其应...
单片多通道石英晶体微天平（MQCM）是面向先进传感与测量应用的新兴技术。本文系统综述 MQCM 技术。首先介绍基本 MQCM 的设计、仿真与表征，重点讨论通道间声学干扰问题。随后总结基于石英基底结构改性的多种 MQCM 方案，包括 mesa、凸面和 x 轴反转结构，用于降低干扰并提高灵敏度。接着讨论三类重要 MQCM 传感平台及其应...