A monolithically integrated microcantilever biosensor based on partially depleted SOI CMOS technology.

Microsystems & nanoengineering 2023 Liu Y, Tian Y, Lin C, Miao J 等 5 人

本文报道了一种基于部分耗尽SOI CMOS工艺的单片集成微悬臂梁适配体传感器，由压阻微悬臂梁阵列和片上信号处理电路组成。12根嵌入压阻器的微悬臂梁构成3个惠斯通电桥传感器；片上电路包括多路复用器、斩波仪表放大器、低通滤波器、Σ-Δ模数转换器和串行外设接口。微悬臂梁阵列与电路均在SOI晶圆单晶硅器件层上制造，并经三次微加工释放。该设计...

其他 单片集成微悬臂梁压阻生物传感器SOI CMOS

All-Silicon Photoelectric Biosensor on Chip Based on Silicon Nitride Waveguide with Low Loss.

Nanomaterials (Basel, Switzerland) 2023 Tang Y, Luo Q, Chen Y, Xu K

与广泛使用的化合物半导体光电传感器相比，全硅光电传感器因兼容互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺而具有易于量产的优势。本文提出一种工艺简单、集成化、微型化且低损耗的全硅光电生物传感器（ASPB）。该传感器基于单片集成技术，光源为PN结级联多晶硅纳米结构，检测器件采用简单的折射率传感方法。模拟结果表明，当待测材料折射率大于1.52时，...

其他 全硅光电生物传感器硅氮化物波导PN结级联光源倏逝波