2 条结果 关键词:原子层沉积 ×

Fabrication of Hydrogenated Diamond Metal-Insulator-Semiconductor Field-Effect Transistors.

Methods in molecular biology (Clifton, N.J.) 2017 Liu J, Koide Y

金刚石因宽禁带、高载流子迁移率和高击穿场,被视为高功率、高频电子器件的有前途材料;同时其生物相容性、长期耐久性、化学惰性和宽电化学电位窗口,也使其成为生物传感器候选材料。本文报道了基于氢化金刚石(H-diamond)的金属–绝缘体–半导体场效应晶体管(MISFET)的制备。制备流程结合激光光刻、干法刻蚀、原子层沉积(ALD)、溅射沉...

ZnO films formed by atomic layer deposition as an optical biosensor platform for the detection of Grapevine virus A-type proteins.

Biosensors & bioelectronics 2017 Tereshchenko A, Fedorenko V, Smyntyna V, Konup I 等 10 人

本文设计了一种新型高灵敏光学生物传感器,用于检测葡萄病毒A型(Grapevine virus A-type, GVA)蛋白,即GVA抗原。该传感器基于原子层沉积(atomic layer deposition, ALD)制备的氧化锌(ZnO)薄膜。ZnO薄膜具有良好的表界面结构性质,可直接固定抗GVA抗体,形成对GVA抗原敏感的生物...