Improved SHSAW transduction efficiency using grating and uniform electrode guiding.

纯剪切水平表面声波（SHSAW）器件可在液相负载下工作，并对界面质量、刚度、粘度和电扰动敏感，因而被用于液相与生物传感。通常SHSAW在自由表面边界条件下弱引导，某些取向甚至不存在，如石英ST-90°。自由表面下叉指换能器（IDT）常激发较强剪切水平体声波（SHBAW），因此需引入周期或均匀厚电极作为引导结构，置于延迟线IDT之间，...