Image-Reversal Soft Lithography: Fabrication of Ultrasensitive Biomolecular Detectors.

本文提出图像反转软刻蚀（IRSL）方法，用于替代传统光刻制备纳米结构微电极（NME）。通过 PDMS 印章将十六烷硫醇自组装单分子层（SAM）转移到金表面，熔融烷烃液滴仅保留在印章孔区，旋涂 SU-8 后熔化烷烃形成孔径，再电镀金和钯形成 NME。大孔径模板使 NME 中心呈凹陷生长，纳米结构更易接近溶液，增强径向扩散和质量传输，提...